長野計器NKS半導(dǎo)體特氣專用數(shù)顯壓力表ZT60-XX6 /ZT60-XXN
長野計器NKS半導(dǎo)體特氣專用數(shù)顯壓力表ZT60-XX6 /ZT60-XXN
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產(chǎn)品概述
ZT60 是專為半導(dǎo)體高純供氣系統(tǒng)研發(fā)的一體化智能數(shù)顯壓力表，集成就地 LED 顯示、比較器開關(guān)報警、4～20mA 標準電流變送，全焊接耐腐蝕傳感結(jié)構(gòu)，搭配可調(diào)顯示方向、多安裝方式、量程自定義等實用配置，廣泛用于晶圓、光伏、電子行業(yè)特氣柜、閥組模塊壓力監(jiān)測與自動化控制。
核心優(yōu)勢
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一體全焊密封結(jié)構(gòu)，適配高純特種氣體
SUS316L 閥體與鈷鎳合金 / 316L 傳感器熔接成型，無滲漏縫隙，氣密性優(yōu)異，耐各類腐蝕性工藝氣體，滿足半導(dǎo)體潔凈供氣嚴苛要求。
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大屏萬向顯示，現(xiàn)場巡檢便捷
四位高亮 LED 數(shù)碼，表頭橫豎自由換向安裝，無論管路水平或豎向排布，均可直面讀數(shù)。
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豐富智能調(diào)試功能，減少運維工時
回路模擬校驗功能方便線路排查；顯示與 4～20mA 輸出支持自定義縮放，搭配一鍵歸零，非標工況無需更換儀表即可適配。
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多安裝 + 多接頭選型，配套靈活
支持水平、垂直兩種安裝姿態(tài)，多款工藝接頭可選，適配集成閥島、特氣柜模塊化裝配。
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三合一輸出配置，適配工控系統(tǒng)
現(xiàn)場數(shù)顯 + 開關(guān)報警 + 4-20mA 標準信號，一路儀表兼顧就地巡檢、超限聯(lián)鎖、中控遠程采集。
適用場景
半導(dǎo)體晶圓廠特氣控制柜、光伏制程惰性氣體管路、科研實驗室高純氣源系統(tǒng)、電子設(shè)備機臺工藝氣體壓力管控。
