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氧化硅拋光液 MYH-SOP150
氧化硅拋光液 MYH-SOP150
產(chǎn)品價格:(人民幣)
  • 規(guī)格:MYH-SOP150
  • 發(fā)貨地:江蘇常州市
  • 品牌:
  • 最小起訂量:1千克
  • 免費會員
    會員級別:試用會員
    認證類型:企業(yè)認證
    企業(yè)證件:通過認證

    商鋪名稱:銘衍海(常州)微電子有限公司

    聯(lián)系人:徐星建(先生)

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    商品詳情

      氧化硅拋光液簡介

      氧化硅拋光液(也稱膠態(tài)二氧化硅拋光液)是化學機械拋光(CMP)工藝中的核心耗材,核心作用是通過化學腐蝕與機械研磨的協(xié)同作用,實現(xiàn)硬脆材料表面高效大余量平坦化加工,精準控制材料去除速率,確保拋光工件達到基礎(chǔ)平坦、無深度損傷的加工表面要求。

      高效實現(xiàn)大余量平坦化,兼顧去料效率與制程銜接性。

      高效大余量平坦化是行業(yè)核心要求,指通過拋光快速去除基材加工余量、修正表面形貌,將材料表面平整度控制在適配后續(xù)中精拋的標準范圍,實現(xiàn)無深劃痕、無崩邊的均勻加工表面,以實現(xiàn):

      1. 超高加工效率:快速完成粗拋 / 粗精拋工序,大幅縮短整體加工周期,提升規(guī)模化生產(chǎn)產(chǎn)能。
      2. 低損傷去料:避免拋光過程對基材造成深層物理 / 化學損傷,保障后續(xù)中精拋工序的加工基礎(chǔ)。
      3. 精準制程銜接:實現(xiàn)均勻一致的拋光效果,完美匹配后續(xù)中拋、精拋工序的表面要求,提升整體制程良率。


      銘衍海氧化硅拋光液 MYH-SOP150 產(chǎn)品特點

      1. 粒度精準90-110nm分散磨粒,分布窄,實現(xiàn)大余量高效去除,無深劃痕、無崩邊。
      2. 切削力強勁:高效研磨各類高硬度硬脆材料,快速去除加工余量,粗拋效率顯著提升。
      3. 懸浮穩(wěn)定:久置不分層、不沉淀、不團聚,批次間性能高度一致,拋光重復(fù)性。
      4. 環(huán)保易清洗:水性體系,無重金屬殘留,無難溶有機成分,純水可快速沖凈無殘留。
      5. 適配性強:適配半導(dǎo)體、光學、精密陶瓷等多領(lǐng)域粗拋 / 粗精拋需求,兼容主流拋光機臺與拋光墊。

      銘衍海氧化硅拋光液 MYH-SOP150 應(yīng)用范圍

      氧化硅拋光液主要用于各類高硬度硬脆材料與器件的化學機械粗拋 / 粗精拋加工,核心作用是高效去除加工余量、修正基材表面形貌、實現(xiàn)基礎(chǔ)平坦化,為后續(xù)中拋、精拋工序奠定優(yōu)質(zhì)基礎(chǔ),適用產(chǎn)品如下:

      一、半導(dǎo)體晶圓與襯底(核心應(yīng)用)

      單晶硅 / 多晶硅晶圓粗拋、碳化硅(SiC)、氮化鎵(GaN)等化合物半導(dǎo)體襯底粗精拋

      半導(dǎo)體封裝基板、晶圓級封裝器件前期基礎(chǔ)拋光

      二、光學晶體與光學器件

      藍寶石襯底(LED / 光學專用)粗拋、石英晶體、光學玻璃粗精拋

      鈮酸鋰(LN/ 鉭酸鋰(LT)晶體前期去料、紅外光學晶體基礎(chǔ)形貌修正

      三、精密陶瓷與電子器件

      氧化鋯陶瓷、氧化鋁精密陶瓷器件粗拋

      硬盤基片前期基礎(chǔ)拋光、玻璃蓋板粗精拋、精密金屬基片表面大余量研磨

      四、特種精密器件與基材

      光纖連接器插芯前期粗研磨、保偏光纖器件基礎(chǔ)平坦化

      微電子機械系統(tǒng)(MEMS)器件基材粗拋、特種石英器件、稀土摻雜光學基材粗精拋

      常見類型

      專用粗拋液:僅用于粗拋 / 粗精拋工序,切削力極強、去料速率高,適配規(guī);咝Ъ庸ば枨蟆

      多段式拋光液:兼顧粗拋與中拋,適配簡易加工制程,簡化操作流程、減少工序切換成本。

      定制化拋光液:可根據(jù)客戶需求調(diào)整粒徑、固含量、pH 值,適配特殊高硬度硬脆材質(zhì) / 工藝拋光。

      儲存與使用

      溫度:5℃ ~ 35℃,防凍(<0℃磨粒結(jié)塊失效)、防高溫(>35℃破壞體系穩(wěn)定性)、防曬避光密封存放。

      使用前:充分攪拌均勻,確保磨粒分散一致;可原液使用或按 1:1~1:10 比例用去離子水稀釋,稀釋后再次充分攪勻,避免濃度不均影響拋光效果。

    在線詢盤/留言
  • 0571-87774297  
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