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廢氣物質(zhì)通過(guò)吸收光子或其他粒子的能量,使得化學(xué)鍵斷裂,形成游離態(tài)的原子,再經(jīng)過(guò)一系列的氧化還原等反應(yīng),終生成H2O和CO2等簡(jiǎn)單物質(zhì)。經(jīng)過(guò)長(zhǎng)期研究發(fā)現(xiàn),當(dāng)化學(xué)物質(zhì)通過(guò)吸收能量(如熱能、光子能量等),可以使自身的化學(xué)性質(zhì)變得更加活躍甚至被裂解。當(dāng)吸收的能量大于化學(xué)鍵鍵能,即可使得化學(xué)鍵斷裂,形成游離的帶有能量的原子或基團(tuán)。在波長(zhǎng)范圍154nm-184.9nm(12KJ/mol-6KJ/mol)高能紫外線的作用下,一方面空氣中的氧被裂解,然后組合產(chǎn)生臭氧;另一方面將污染物化學(xué)鍵斷裂,使之形成游離態(tài)的原子或基團(tuán);同時(shí)產(chǎn)生的臭氧參與到反應(yīng)過(guò)程中,使廢氣終被裂解,氧化成簡(jiǎn)單的穩(wěn)定的化合物,如COH2O、N2等。