商鋪名稱：上海衡鵬企業(yè)發(fā)展有限公司
聯(lián)系人：陳靜靜（小姐）
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聯(lián)系地址：上海市徐匯區(qū)田州路159號蓮花大廈3樓B座
郵編：200233
聯(lián)系我時，請說是在焊材網(wǎng)上看到的，謝謝！
| 產(chǎn)品參數(shù) | |||
|---|---|---|---|
| 品牌 | JEL | ||
| 品名 | 機械手臂 | ||
| 加工定制 | 否 | ||
| 產(chǎn)地 | 中國 | ||
| 手指材質(zhì) | CFRP(碳纖維) | ||
| 鋁合金 | |||
| 晶圓固定方式 | 下托式，利用晶圓自重的邊緣夾持式 | ||
| 控制通訊方式 | RS232C及并口I/O方式 | ||
| 使用環(huán)境 | 潔凈間內(nèi)的大氣環(huán)境真空 | ||
| 手臂 | 單臂 | ||
| 到達距離 | 640mm | ||
| 升降軸最大行程 | 60mm | ||
| 可搬運質(zhì)量 | 10kg | ||
| 英文名 | wafer transfer robot | ||
| 軸數(shù) | 3軸 | ||
| 可售賣地 | 北京;天津;河北;山西;內(nèi)蒙古;遼寧;吉林;黑龍江;上海;江蘇;浙江;安徽;福建;江西;山東;河南;湖北;湖南;廣東;廣西;海南;重慶;四川;貴州;云南;西藏;陜西;甘肅;青海;寧夏;新疆 | ||
| 型號 | SVCR3330S-060-PM | ||
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真空3軸圓柱坐標(biāo)型機械手臂SVCR3330S-060-PM特點：
真空3軸圓柱坐標(biāo)型機械手臂SVCR3000系列
雙手指結(jié)構(gòu)可以在真空腔室內(nèi)搬運4kg以下的托盤
相比LVHR系列機械手臂具有較好的性價比優(yōu)勢
手臂關(guān)節(jié)處使用磁流體密封裝置
真空密封：磁流體密封裝置和波紋管
提高潔凈度的方法：手臂內(nèi)部排氣口安裝5μm級過濾器
配備動作監(jiān)視器
控制通訊方式：RS232C及并口I/O方式
全軸采用2相步進電機
S曲線加減速控制方式能夠高速，高精度地搬運半導(dǎo)體晶圓
可以選配2相步進電機規(guī)格
手指材質(zhì)：CFRP(碳纖維),鋁合金，高純度陶瓷等多種可選材質(zhì)
晶圓固定方式：下托式，利用晶圓自重的邊緣夾持式
可以針對搬運物體，客戶設(shè)備布局的實際情況提供最優(yōu)的手指
真空3軸圓柱坐標(biāo)型機械手臂SVCR3330S-060-PM基本參數(shù)：
使用環(huán)境 潔凈間內(nèi)的大氣環(huán)境真空
手臂 單臂
到達距離 640mm (手臂第3關(guān)節(jié)中心到達距離)
升降軸最大行程 60mm
可搬運質(zhì)量 10kg (手臂第3關(guān)節(jié)處基準(zhǔn))
