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利用激發(fā)光源發(fā)出的特征發(fā)射光照射一定濃度的待測元素的原子蒸氣，使之產(chǎn)生原子熒光，在一定條件下，熒光強度與被測溶液中待測元素的濃度關(guān)系遵循Lambert-Beer定律，通過測定熒光的強度即可求出待測樣品中該元素的含量。原子熒光光譜法具有原子吸收和原子發(fā)射兩種分析方法的優(yōu)勢，并且克服了這兩種方法在某些地方的不足。該法的優(yōu)點是靈敏度高，目前已有20多種元素的檢出限優(yōu)于原子吸收光譜法和原子發(fā)射光譜法；譜線簡單；在低濃度時校準曲線的線性范圍寬達3~5個數(shù)量級，特別是用激光做激發(fā)光源時更佳，但其存在熒光淬滅效應(yīng)，散射光干擾等問題。