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高精度：由于線性滑軌移動時、摩擦力非常小，屬于滾動摩擦、故只需極小的動力即可驅(qū)動床臺、因為摩擦力小，故因摩擦所產(chǎn)生的熱極小，相較于傳統(tǒng)的滑動方式、可大幅降低運行軌道接觸面的磨損，故可長時間維持高定位精度與行走精度、低磨損。

高剛性：由于滑軌與軌道采用四方向等負荷設(shè)計，故對于來自于各方向之負荷、都須具有足夠的抵抗強度、且具備自動調(diào)心之能力、可允許較大的安裝誤差、使加工較容易，并可施予足夠的預(yù)壓量，已獲得高剛性。

保養(yǎng)維護容易：相較于傳統(tǒng)的滑動系統(tǒng)，均有對于運行的軌道面進行鏟花或研磨的動作，因滑動所產(chǎn)生的磨耗、往往使得機臺一段時間就必須重新鏟花或研磨，曠日費時、且成本極高、若進行更換或維修極可回復(fù)機臺之行走精度。